稀土橡胶板由于弹性材料O形环密封件的永久变形被用于属于一个粘弹性材料，因此受到堵塞长期使用的压缩永久变形和回弹能力的初始量，可逐渐失去永久变形，最终出现泄漏。永久变形和O形圈的弹性力消失是密封性能损失的主要原因，下面是主要的原因永久变形。低出气？优异的电阻特性的缺点等离子体特性：？可怜的低温性能？全氟化产品广泛应用于半导体工业及相关产业的原材料制造挑战价格较高，使用的信息，？制造过程中的薄膜，其含有PVC的工作范围内，？CVD和蚀刻工艺和各种高真空密封工序。？如图12所示，ACM丙烯酸酯橡胶（？橡胶）？通过？烷基？酯？丙烯酸？该弹性体聚合的主成分，石化性，耐高温性，耐候性的机械强度良好，变形率和耐水性弱，比一般的油胶稀土橡胶板稍差。一般温度范围？-25至170？℃。？